Notkun á tómarúmdælum í hálfleiðara oblátu teningum og umbúðum
Aftast í-hlið hálfleiðaraframleiðslu þarf að skera diska í teninga í einstaka flís og pakka þeim síðan. Tómarúmtækni gegnir mikilvægu hlutverki í þessu ferli.
Wafer Dicing
Meðan á teningaferlinu stendur er oblátið aðsogað þétt inn á chuck teningsvélarinnar. Tómarúmdælukerfi með mikilli-nákvæmni veitir stöðugan og jafnan aðsogskraft, sem tryggir að ofur-þunnt og viðkvæmt skífa breytist ekki eða titrar við háhraðaskurð. Þetta er nauðsynlegt til að viðhalda nákvæmni í teningum, koma í veg fyrir að flögurnar klippist eða sprungnar og til að bæta endanlega ávöxtun beint.
Die Attach
Í viðhengisþrepinu á pökkunarferlinu nota lofttæmistútar lofttæmissog til að ná nákvæmlega upp einstökum aðskildum deyjum og setja þær nákvæmlega á blýgrindina eða undirlagið. Hröð viðbrögð og stöðugur gripkraftur sem lofttæmisdælan veitir tryggja nákvæma og skilvirka notkun og kemur í veg fyrir skemmdir eða rangfærslur á flögum.
Tæknilegar kröfur
Þessi notkunaratburðarás krefst þess að lofttæmisdælan verði að hafa mikla áreiðanleika, vera olíu-laus (til að koma í veg fyrir mengun á viðkvæmum flísflötum), hafa lágan titring og viðhalda stöðugum dæluhraða og endanlegu lofttæmisstigi.
Vörurnar sem við getum boðið í þessum iðnaði:
